Samenvatting
Dit werk onderzoekt energieoverdrachten tussen elektronen, vibrationele en translationele vrijheidsgraden en hun effect op dissociatiemechanismen in een N2-magnetronplasma in het drukbereik van 50 tot 400 mbar. Een nieuw zelfconsistent 0D-plasmachemisch model dat vibrationele kinetiek beschrijft via de vibrationele energievergelijking en de Fokker-Planck-benadering is ontwikkeld. Het wordt gebruikt om experimenteel bereikte omstandigheden te simuleren, waarbij goede overeenstemming wordt gevonden met gemeten waarden van vibrationele en gastemperatuur en elektronendichtheid. Boven de 100 mbar neemt de energie-efficiëntie van dissociatie toe met de vermogensdichtheid, vanwege de significante bijdrage van botsingen tussen vibrationeel geëxciteerde N2 en elektronisch geëxciteerde moleculen. Energieoverdracht naar vibraties is maximaal bij lage vermogensdichtheid en lage druk vanwege verminderde gasverwarming.